電子氣體指的是用于半導體、平闆顯示、發光二極管、太陽能電池及其它電子産品生産的基礎性源材料,被普遍的應用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應用範圍包括電子行業、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統、航空航天等諸多領域。基于投資規模和産品檔次的不同的實際要求,工業界對電子氣體輸送系統基本有三類需求,之前和大家分享了大規模供氣系統,接下來和立和大家分享常規供氣系統和簡單供氣系統。
常規供氣系統
常規供氣系統主要應用于4-6英寸 大規模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生産線,發光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規模的電子行業。它們的投資規模中等,生産線可能是二手設備,對氣體純度控制的要求不苛刻,系統配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節省投資。由于氣體流量小,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統多采用半自動氣瓶櫃或氣瓶架,配置繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統,有些甚至用單瓶系統。共用一個氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統有時放在回風夾道,或直接放在工藝制造設備旁邊。共用一個抽風系統。系統通常存在安全隐患。
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