目前電子消費品的種類繁多以及升級換代日趨頻繁,同類産品的不同制造規模、不同級别檔次的生産工廠和科研機構共存。基于投資規模和産品檔次的不同的實際要求,工業界對電子氣體輸送系統基本有三類需求,接下來和立帶大家了解大規模供氣系統。
大規模供氣系統主要針對大規模量産的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規模集成電路廠,100MW以上的太陽能電池生産線,發光二極管的磊晶工序線、5代以上液晶顯示器工廠、光纖、矽材料外延生産線等行業。它們的投資規模巨大,采用的工藝制程設備,用氣需求量大,對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生産提出嚴格的要求。
上述工廠的大宗普通氣體多采用現場制氣(On-site)或工業園區管道(Pipeline)集中供應方式,一個年産5萬片的8英寸 超大規模集成電路廠高純氮氣的需求超過5,000Nm3/h,發光二極管的磊晶工序線和矽外延生産線的氫氣需求超過100Nm3/h。
除了普通鋼瓶(50L及以下)包裝的特種氣體外,還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器,由此它們被稱為大宗特氣,包括Y-鋼瓶(450L),T-鋼瓶(980L),集裝格(940L),ISO罐(22,500L),魚雷車(13,400L)等。
大宗特氣供應系統采用全自動PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面闆采用氣動閥門和壓力傳感器,可實現自動切換,自動氮氣吹掃,自動真空輔助放空;多重安全防護措施,洩漏偵測,遠程緊急切斷;氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源,多用點采用VMB或VMP分路供應,VMB或VMP采用支路氣動閥,氮氣吹掃,真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大,多采用單獨的氣體房,單獨的抽風系統。
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