電子級氣體多以集中式供應為趨勢,特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統的數量是根據機台對流量的需求進行合理配置。特氣輸送設備必須采用全自動切換供氣,而且多設計了備用設備。對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面闆加熱,管道伴熱等。為了精确控制流量,在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機台用氣點也都配置了質量流量計。
對于大流量的BSGS,不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發吸熱對流量的影響,還要考慮電子級氣體經過調壓閥減壓後的焦耳-湯普遜效應。一般而言,氣體減壓後,溫度會降低,甚至液化。這會照成輸送壓力的不穩定以及管路系統的損壞。因此需要考慮在減壓前對氣體進行預熱。氣體監控系統(GMS)通過計算機網絡,實現對氣體輸送系統的實時監控,以确保系統的穩定性。
針對液化氣體(如氨氣)的BSGS,采用直接加熱液體的氣化輸送系統(Evaporator)已經研發成型,很快會在BSGS的應用上推廣。
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