電子級氣體可能存在窒息性、腐蝕性、毒性、易燃易爆性等危險,其危害性被不同區域和不同的工業進行了詳細的危險等級分類。所以電子級其他的安全是十分重要的,和立氣體(上海)有限公司就為大家講一講關于電子級其他的安全問題。
如何保證電子級氣體的安全儲存、使用操作,系統的工藝和産品本征安全設計,在衆多的國際标準規範如SEMI,NFPA,CGA,FM等都有很詳細的規定,目前中國國内也正在起草針對電子特種氣體的标準規範。通常而言,會根據氣體性質和相容性,将氣體房分成可燃氣體房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、矽烷氣體房、三氟化氯氣體房等。氣體房規劃需要考慮建築物的防火、洩爆、防火防爆間距、危險物總量等等。針對矽烷輸送系統,特别是BSGS系統,因總量較大,應采用隔離式建築。氣體房和氣櫃應采用自動噴淋系統。而三氟化氯遇水反應,需要采用二氧化碳滅火系統。
輸送管道一般采用無縫SS316L EP管。施工采用自動軌道焊接,經保壓、氦檢漏和純度測試。對于劇毒、高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。一些劇毒氣體如磷烷、砷烷等,安全輸送系統(SDS)正在被使用。其鋼瓶内采用負壓吸附的方式,用真空法輸送,從根本上避免了氣體的洩漏。
氣體偵測系統(GDS)是全廠生命安全系統(LSS)的重要組成部分。對于偵測器的要求,除了精度高,反應迅速外,還應具備自檢功能。
對于一個大規模量産的電子工廠,其使用和存儲的電子級氣體數量之多可以毫不誇張地被視為擁有“大規模殺傷性”武器庫。任何設計上、施工中、日常運行裡存在的安全問題都會對工廠、人員和環境帶來巨大的災難。
使用電子級氣體的工廠抽風系統也根據性質分成了普通排風系統(GEX),酸性排風系統(SEX),溶劑排風系統(VEX)和氨氣排風系統(AEX)。換鋼瓶時的吹掃尾氣,也建議排放至尾氣處理器中。
電子級安全日趨嚴格,而且安全問題關乎你我他,大家需要十分重視。那麼如果您有電子級其他的需求,請聯系和立氣體(上海)有限公司,我們将竭誠為您服務!